四氯化硅的高温氢化，也称热氢化， 是目前处理多晶硅副产物四氯化硅

                                                                                        的一种重要方法。

                                                                                        高温氢化是以四氯化硅和氢气为原料，经1200～1250℃的石墨发热体加

                                                                                        热，进行热还原反应生成三氯氢硅。   高温氢化的基本反应原理如下： 

                                                                                        SiCl4(g)+H2(g)=SiHCl3(g)+HCl(g) 

                                                                                        该工艺的优点是整套系统闭路循环，适于连续、稳定运行；三氯氢硅产品

                                                                                        的纯度高、需要精馏的环节少。缺点是反应需要在900~1400℃甚至更高温

                                                                                        度以及1~35MPa的高压下进行，能耗很大；由于反应器的加热装置是等静

                                                                                        压石墨带，在高温高压条件下很容易形成甲烷等气体，在多晶硅的闭路循环

                                                                                        生产中给多晶硅带来碳污染。