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三氯氢硅的分类及技术指标

发布:admin 时间:2024-07-02

根据国家标准GB/T 28654-2018《工业三氯氢硅》,工业三氯氢硅分为I、II两类,其中I类用于生产多晶硅,

 II类用于生产硅烷偶联剂。根据纯度及杂质含量的不同,每个类别的三氯氢硅又分为三个等级,下面是各类

                                                   及等级的三氯氢硅具体的技术指标:

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