三氯氢硅（TCS）又称三氯硅烷、硅氯仿，是卤硅烷系列化合物中最重要的一种产品，

                                                        沸点为31.8℃、极易水解、冒白烟、有盐酸气味、有毒，三氯氢硅气体与氧气或空气

                                                        的混合物极易燃烧，遇湿易燃物品，遇明火强烈燃烧，与氧化剂发生反应，有燃烧危

                                                        险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。

                                                        在实际应用中，根据纯度不同，三氯氢硅被分为三个等级：电子级、太阳级和工业级。

                                                        电子级TCS：电子级TCS是纯度最高的三氯氢硅，通常用于制造高效率的光伏电池。

                                                        它的杂质含量非常低，可以提供良好的电子传输性能；

                                                 太阳级TCS：太阳级TCS也是用于制造光伏电池的材料，但其纯度要低于电子级TCS。

                                                        太阳级TCS可以通过化学气相沉积（CVD）等工艺生产，用于大规模制造光伏电池；

                                                        工业级TCS：工业级TCS是用于其他工业应用的TCS，不一定具备高纯度要求。工业级

                                                        TCS通常用于制造硅橡胶、硅密封材料等。